(1) Esi-PVD-käsittely, mukaan lukien esineiden puhdistus ja esikäsittely.Erityisiä puhdistusmenetelmiä ovat pesuainepuhdistus, kemiallinen liuotinpuhdistus, ultraäänipuhdistus ja ionipommituspuhdistus.
(2) Aseta ne uuniin, mukaan lukien tyhjiökammion puhdistus ja kiinnikkeet sekä esineiden ja kalusteiden asennus, käyttöönotto ja liittäminen.
(3) Imurointi, yleensä pumppaus 6,6 Pa:iin tai enemmän, avaa diffuusiopumpun etuosa aikaisemmin tyhjiöpumpun ylläpitämiseksi ja diffuusiopumpun lämmittämiseksi.Kun esilämmitys on riittävä, yläventtiili avataan ja pumpataan diffuusiopumpulla 6 x 10-3 Pa puolialatyhjiöön.
(4) Paistaminen, tuotteiden paistaminen haluttuun lämpötilaan.
(5) Ionipommitus, tyhjö on yleensä 10 Pa - 10-1 Pa, ionipommitusjännite on negatiivinen korkea jännite 200 V - 1 KV ja hyökkäysaika on 15 min - 30 min.
(6) Esisulatus, virran säätäminen materiaalin esisulattamiseksi, virran säätö pinnoitteen esisulattamiseksi ja kaasunpoisto 1 min ~ 2 min.Haihtuva laskeuma.Höyrystysvirtaa säädetään tarpeen mukaan, kunnes haluttu pinnoitusaika on ohi.Jäähdytys, esineet jäähdytetään tiettyyn lämpötilaan tyhjiökammiossa.
(7) Kun esineet on otettu pois, tyhjiökammio suljetaan, tyhjiö tyhjennetään l × l0-1Pa:iin ja diffuusiopumppu jäähdytetään sallittuun lämpötilaan ennen kuin huoltopumppu ja jäähdytysvesi voidaan sammuttaa.